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      名稱:質譜儀(殘余氣體分析儀、大分子量質譜、等離子體質譜)
    1.美國INFCON公司提供的Transpector2、100、200、300amu系統帶法拉第杯或電子倍增器的組合,改進并提高氫氣的監測,卓越的峰值和位置的穩定性,與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍,9個數量級的電子學動態量程,分壓測量從1*10-4~2*10-14Torr,廣泛的應用于PVD機臺或工藝狀態,刻蝕,CVD注入。
    更為強大TranspectorXPR3最小測量分壓可達到1*10-2Torr,廣泛適用于濺射,電子束蒸發等鍍膜工藝的過程控制。
    在線質譜IPC400的研制,解決客戶在高壓強下分析氣體成分的可能性,為客戶提供在線實時監測工藝狀態的可能。
    在線質譜儀Transpector CPM,曲線可以從大氣取相,更為寬廣的測量空間。CPM 緊湊型過程監控器是一款功能全面、結構緊湊且經濟實惠的氣體分析儀,適用于現場監控復雜的過程。
    2.QMG700高性能四極質譜儀。
    高測量速度0.125 ms/amu、超高靈敏度和寬廣的動態范圍掃描表示空氣的譜線.在空氣中檢測到136 Xe (氙) 的含量為 7,8 ppb, 比噪聲水平高數個量級.達到超過 10 個量級的動態范圍。質量數1-1024amu可選擇,離子源類型可選。
    3.PPM422等離子體過程檢監控器是一種集成有能量分析器的差分泵質譜儀,可用于測量中性粒子、正離子和負離子,以及對等離子加工過程中的離子和中性粒子進行能量分析。
    功能特點:檢測等離子體中的中性粒子和正負離子
    中性粒子和正負離子能量分析
    自由基測量
    等離子過程的終點檢測
    寬泛的動態量程
    高測量速度
    vacuum H
    28
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