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      名稱:UL1000型氦質譜檢漏儀
    UL1000型氦質譜檢漏儀,靈活的測試性能,高靈敏度,快速與精確的結果,其中離子源保修期為三年,超強的I.CAL專利智能化漏率計算程序,測試的靈敏度可達到1.00*10-12mbar.L/s,廣泛的應用于半導體工藝設備的維護,標準漏空的測試與校準,電子元器件超強的檢漏模式,要求高抽速,高靈敏度以及清潔條件的應用場合。
    INFICON檢漏儀在潔凈室中制造。所用的全部元件包括閥門與軟管均是無油的,并在無油的條件下組裝與測試。
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